大连：“特气”新工厂建成投产 加速国产化替代步伐
东北新闻网2022-11-14 08:21
大连：“特气”新工厂建成投产 加速国产化替代步伐
电子特气是半导体制造的关键原材料，被称为“芯片血液”。电子特气纯度越高，刻画的纳米级集成电路质量越好。
目前电子特气有上百种，几乎渗透到集成电路生产每个环节，是硅片之后的第二大耗材，也是国家重点攻关的“卡脖子”新材料项目。
今年，大连电子特气生产企业的新工厂在松木岛化工园区建成投产，其生产的多种高品质电子混合气填补国内空白。
近年来，大连出台优惠政策大力发展集成电路产业，引导和支持企业加大研发投入，相继突破多个工艺瓶颈和技术难题，推出应用于更加高端、新型的电子特气品种，为半导体关键材料国产化注入大连力量。
记者|齐莉莉 王彬彬 李一凡
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